磁悬浮分子泵MAG

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新一代数字化控制，五轴定位的磁悬浮分子泵
MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
• 五轴定位双端磁悬浮轴承系统，自平衡性能好全无油，耐粉尘、抗气流冲击。
• 转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形，应力小，强度高，耐冲击，高温变形量小，转子叶片不易卷曲、打碎；转子长期运行温度可高达 120 ℃ 。
• 转子及定片均采用莱宝专利技术的 KAPLAR 涂层
• 较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能，适用于抽除腐蚀性强的工艺气体；
• 降低气流与转子叶片摩擦产生的热量，降低转子运行温度，有利于延长转子寿命；
• 叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
• 保护轴承为陶瓷轴承，寿命长（ >600 次），无需更换保护轴承。
• 高真空端连接采用 ISO-F ，连接螺栓强度高，充分保障安全。
• 智能化电源，无需 UPS 。
• 带拖动级，前级耐压在 2mbar 以上。
• 分子泵运行温度可调节，使其充分适应不同工艺制程。
• 最先进的数字控制技术
• 运行速度、温度可设置；
• 运行数据记录存储，提供多达 180 条运行信息；
• 磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制，信号处理速度快，系统反应时间短
• 转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时，磁场补偿反应时间短；
• 在气流长时间（ 2 分钟以上）过大，而使泵负载过高，发热量过大时，泵速会快速自动调节，使泵温下降到正常水平。
• 控制器与泵无识别性，可互换。
• 免维护。
典型应用：
适用于
• 所有半导体主要制程：刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
• 科研领域
• 镀膜
另外，莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。


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